Hoeveel weet u over siliciumnitride in siliciumnitride -substraten?

Laat me vandaag introducerensilicon nitridevan het prestatie -aspect.

Over fysieke eigenschappen

Eerst de thermische eigenschappen van siliciumnitride. Het is een vuurvast materiaal op hoge temperatuur zonder smeltpunt. Het ontleedt op ongeveer 1900 ℃ onder normale druk. Het heeft een sterke weerstand tegen hogedruk kruip. Het verzachtingspunt van reactief gesinterde siliciumnitride zonder bindmiddel kan zo hoog zijn als 1800 ℃. Dan heeft het een goede thermische geleidbaarheid en kleine thermische expansiecoëfficiënt. Het heeft ook een goede elektrische isolatie, kleine diëlektrische constante en hoge afbraakspanning.

Over chemische eigenschappen

Siliciumnitrideheeft een goede oxidatieresistentie en reageert niet met zuurstof in een droge atmosfeer onder 800 ℃. Bovendien is het resistent tegen gesmolten metaalcorrosie en is het de elementaire metaalmelt (behalve koper) niet nat en is het niet gecorrodeerd. Een ander kenmerk is dat het gemakkelijk oplosbaar is in hydrofluorzuur en niet werkt met verdunde zuur.

Over mechanische eigenschappen

Siliciumnitrideheeft een goede kracht op hoge temperatuur. De sterkte van hoge temperatuur bij 1200 ° C verzwakt niet veel vergeleken met de sterkte van de kamertemperatuur. Bovendien is de kruipsnelheid op hoge temperatuur erg laag. Deze worden allemaal bepaald door de aard van sterke covalente bindingen. Het heeft een hoge hardheid, de tweede alleen voor enkele superhard-materialen zoals diamant, kubieke Bn, B4C, enz. Het heeft ook een lage wrijvingscoëfficiënt en zelf-knabbelende eigenschappen, vergelijkbaar met het oppervlak van geolied metaal.

Het bovenstaande is de introductie van vandaag totsiliciumnitrideUit de drie aspecten van fysische eigenschappen, chemische eigenschappen en mechanische eigenschappen.