Keramische substratenworden momenteel gebruikt in vermogenselektronicamodules, voordelen: hoge mechanische sterkte, taaiheid en thermische geleidbaarheid
Het siliciumnitride heeft hogere kosten dan het aluminiumnitride
substraat, en de thermische geleidbaarheid is meer dan 80 of meer. Silicium wordt voornamelijk toegepast op de vermogenselektronicamodules, zoals IGBT-modules, standaardblokken voor auto's, maar ook op militaire en ruimtevaartmodules.
De
keramisch substraatwordt voornamelijk gebruikt voor hoge mechanische sterkte en taaiheid. Omdat deze voedingsmodule momenteel te groot is, is de vereiste koperdikte relatief hoog (minimaal 500um of meer). Vanaf nu is het voor de vervolgtoepassing van siliciumnitride vereist dat de koperdikte ook laag is (sommige IGBT-modules vereisen een hoge stroomsterkte)